SIPDR电阻率测试夹具对于半导体晶片，电阻率测量的上限约为1000Ωcm。 具有较高电阻率值的半导体可以使用该谐振器方便地进行测量。所有SiPDR（单柱介电谐振器）都是定制的。
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类型 |
参数 |
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厚度为h的样品的测量精度 |
±2％ |
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工作频率 |
5 GHz |
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工作温度范围 |
-270°C 至 110°C |
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