主要特点：
1.腔室专为R&D设计和优化，样品尺寸达直径4’’,可升级至6''；
2.反应腔温度可控范围：RT-350℃；
3.前驱体源温度可控范围：RT-150℃；
4.腔室处理压力可控范围：0.1-1.5 torr；
5.源扩展多达5个；
6.快速循环处理功能；
7.气路优化设计、腔体小型化设计；
8.一分钟多达6-10；
9.成熟的薄膜Recipes内置程序；
10.触屏PLC控制；
11.可配套手套箱使用；
12.可配备臭氧发生器；
13.可定制样品夹具；
14.相比于市场上同类产品体积相对偏小，可以放置在净化间；
15.可实现前驱体剂量的控制。
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