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多模组三维光学轮廓仪
标配ZDot技术，可选装多模式光学系统。强大的成像测量功能，使其能够对各种样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理等。
纳米及微米级台阶测量
粗糙度分析
薄膜厚度测量
三维轮廓测量
全表面缺陷测量及分类
特征图形全自动侦测与表征
高深宽比表面轮廓成像
True color（真彩）无限远焦点图像
基础模块
横向准确度＜1%
彩色CCD：2/3”，2448×2048
水平分辨率：54nm
可测高度：40mm
Z轴分辨率：13nm/2nm
光源：高亮度LED
自动XY载台150×150mm
样品反射率：0.5%~100
测试系统选项
标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜
ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5?分辨率，0.1nm台阶高度测试）
载台与卡盘选项
手动100mm×100mm或300mm×300mm载台
自动150mm×150mm或180mmx200mm载台
压电陶瓷载台（2nm闭环精度，200?m工作距离）
高精度倾斜载台
手动旋转载台
卡盘：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盘等，可定制
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